三坐標按操作方法可以分為手動三坐標測量儀和自動三坐標測量儀，而且每一種三坐標測量儀又有不同的系列，不同系列的三坐標測量儀使用方法都不一樣；下面是一些共性的使用方法：
一、量測前準備： a、檢查空氣軸承壓力是否足夠 b、安裝工件 二、測頭選擇及安裝 a、將適當的測頭裝于Z軸承接器 b、檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥） 三、量測操作 a、開啟處理機電源 b、開啟打印機開關 c、參考操作手冊，選擇所需功能之指令 四、完成后注意事項 a、Z軸移至原來位置后，鎖定 b、X，Y軸各移至中央，鎖定 c、關電源及壓力閥 d、取下測頭 e、并作適當的保養
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